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生產廠商往往是分段給出其濕度傳感器的精度的。如中、低溫段（0-80%RH）為±2%RH，而高濕段（80-100%RH）為±4%RH，而且此精度是在某一溫度下（如25）的值。如在不同溫度下使用濕度傳感器，其示值還要考慮溫度潭移的影響。眾所周知，相對濕度是溫度的函數，溫鹿嚴重地影響著空間內的相對濕度。溫度每變化0.1℃，將產生0.5%RH的濕度變化（誤差），使用場合如果難以做到恒溫，則提出過高的測濕精度是不合適的。

因為濕度隨著溫度的變化也漂忽不定的話，奢談測濕精度將失去實際意義。所以控濕首先要控好溫，這就是大量應用的往往是溫濕度-體化傳感器而不單純是濕度傳感器的緣故。

多數情況下，如果沒有精確的控溫手段，或者被測空間是非密封的，±5%RH的精度就足夠了。對于要求精確控制恒溫、恒濕的局部空間，或者需要隨時跟蹤記錄濕度變化的場合，再選用±3%RH以上精度的濕度傳感器。與此相對應的溫度傳感器，其測溫精度須足±0.3℃以上，起碼是±0.5℃的。而精度高于±29RH的要求恐怕連校準傳感器的標準濕度發生器也難以做到，更何況傳感器自身了。國家標準物質研究中心濕度室的文章認為：“相對濕度測量儀表，即使在20-25℃下，要達到2%RH的準確度仍是很困難的。”

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